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Atom Probe Tomography (APT) Metrology for future 3D semiconductor devices

Von 2015-08-01 bis 2017-07-31, Abgeschlossenes Projekt

Projektdetails

Gesamtkosten:

EUR 160 800

EU-Beitrag:

EUR 160 800

Koordiniert in:

Belgium

Aufruf zur Vorschlagseinreichung:

H2020-MSCA-IF-2014See other projects for this call

Finanzierungsprogramm:

MSCA-IF-EF-ST - Standard EF

Ziel

Koordinator

INTERUNIVERSITAIR MICRO-ELECTRONICA CENTRUM
Belgium

EU-Beitrag: EUR 160 800


KAPELDREEF 75
3001 LEUVEN
Belgium
Activity type: Research Organisations

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