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Atom Probe Tomography (APT) Metrology for future 3D semiconductor devices

De 2015-08-01 à 2017-07-31, projet clôturé

Détails concernant le projet

Coût total:

EUR 160 800

Contribution de l'UE:

EUR 160 800

Coordonné à/au(x)/en:

Belgium

Appel à propositions:

H2020-MSCA-IF-2014See other projects for this call

Régime de financement:

MSCA-IF-EF-ST - Standard EF

Objectif

Coordinateur

INTERUNIVERSITAIR MICRO-ELECTRONICA CENTRUM
Belgium

Contribution de l'UE: EUR 160 800


KAPELDREEF 75
3001 LEUVEN
Belgium
Activity type: Research Organisations

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