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Atom Probe Tomography (APT) Metrology for future 3D semiconductor devices

Dal 2015-08-01 al 2017-07-31, progetto in corso

Dettagli del progetto

Costo totale:

EUR 160 800

Contributo UE:

EUR 160 800

Coordinato in:

Belgium

Invito a presentare proposte:

H2020-MSCA-IF-2014See other projects for this call

Meccanismo di finanziamento:

MSCA-IF-EF-ST - Standard EF

Obiettivo

Coordinatore

INTERUNIVERSITAIR MICRO-ELECTRONICA CENTRUM
Belgium

Contributo UE: EUR 160 800


Kapeldreef 75
3001 LEUVEN
Belgium
Activity type: Research Organisations
Numero di registrazione: 195974 / Ultimo aggiornamento: 2017-02-03