Obiettivo The objective of the 3DAM project is to develop a new generation of metrology and characterization tools and methodologies enabling the development of the next semiconductor technology nodes. As nano-electronics technology is moving beyond the boundaries of (strained) silicon in planar or finFETs, new 3D device architectures and new materials bring major metrology and characterization challenges which cannot be met by pushing the present techniques to their limits. 3DAM will be a path-finding project which supports and complements several existing and future ECSEL pilot-line projects and is linked to the MASP area 7.1 (subsection More Moore). Innovative demonstrators and methodologies will be built and evaluated within the themes of metrology and characterization of 3D device architectures and new materials, across the full IC manufacturing cycle from Front to Back-End-Of-Line. 3D structural metrology and defect analysis techniques will be developed and correlated to address challenges around 3D CD, strain and crystal defects at the nm scale. 3D compositional analysis and electrical properties will be investigated with special attention to interfaces, alloys and 2D materials. The project will develop new workflows combining different technologies for more reliable and faster results; fit for use in future semiconductor processes.The consortium includes major European semiconductor equipment companies in the area of metrology and characterization. The link to future needs of the industry, as well as critical evaluation of concepts and demonstrators, is ensured by the participation of IMEC and LETI. The project will directly increase the competitiveness of the strong Europe-based semiconductor Equipment industry. Closely connected European IC manufacturers will benefit by accelerated R&D and process ramp-up. The project will generate technologies essential for future semiconductor processes and for the applications enabled by the new technology nodes. Campo scientifico engineering and technologynanotechnologynano-materialstwo-dimensional nanostructuresnatural sciencesphysical sciencesopticsmicroscopynatural sciencesphysical scienceselectromagnetism and electronicssemiconductivitynatural scienceschemical sciencesinorganic chemistrymetalloidsengineering and technologynanotechnologynanoelectronics Programma(i) H2020-EU.2.1.1. - INDUSTRIAL LEADERSHIP - Leadership in enabling and industrial technologies - Information and Communication Technologies (ICT) Main Programme H2020-EU.2.1.1.7. - ECSEL Argomento(i) ECSEL-06-2015 - Semicondutor Process, Equipment and Materials Invito a presentare proposte H2020-ECSEL-2015-1-RIA-two-stage-Master Vedi altri progetti per questo bando Bando secondario H2020-ECSEL-2015-1-RIA-two-stage Meccanismo di finanziamento ECSEL-RIA - ECSEL Research and Innovation Action Coordinatore FEI ELECTRON OPTICS BV Contribution nette de l'UE € 1 110 812,50 Indirizzo ACHTSEWEG NOORD GEBOUW AAE 5 5651 GG Eindhoven Paesi Bassi Mostra sulla mappa Regione Zuid-Nederland Noord-Brabant Zuidoost-Noord-Brabant Tipo di attività Private for-profit entities (excluding Higher or Secondary Education Establishments) Collegamenti Contatta l’organizzazione Opens in new window Sito web Opens in new window Partecipazione a programmi di R&I dell'UE Opens in new window Rete di collaborazione HORIZON Opens in new window Costo totale € 4 443 250,00 Partecipanti (18) Classifica in ordine alfabetico Classifica per Contributo netto dell'UE Espandi tutto Riduci tutto APPLIED MATERIALS ISRAEL LTD Israele Contribution nette de l'UE € 740 625,00 Indirizzo OPPENHEIMER STREET 9 76705 Rehovot Mostra sulla mappa Tipo di attività Private for-profit entities (excluding Higher or Secondary Education Establishments) Collegamenti Contatta l’organizzazione Opens in new window Partecipazione a programmi di R&I dell'UE Opens in new window Rete di collaborazione HORIZON Opens in new window Costo totale € 2 962 500,00 INTERUNIVERSITAIR MICRO-ELECTRONICA CENTRUM Belgio Contribution nette de l'UE € 873 666,00 Indirizzo KAPELDREEF 75 3001 Leuven Mostra sulla mappa Regione Vlaams Gewest Prov. Vlaams-Brabant Arr. Leuven Tipo di attività Research Organisations Collegamenti Contatta l’organizzazione Opens in new window Sito web Opens in new window Partecipazione a programmi di R&I dell'UE Opens in new window Rete di collaborazione HORIZON Opens in new window Costo totale € 2 184 165,00 NEDERLANDSE ORGANISATIE VOOR TOEGEPAST NATUURWETENSCHAPPELIJK ONDERZOEK TNO Paesi Bassi Contribution nette de l'UE € 628 813,00 Indirizzo ANNA VAN BUERENPLEIN 1 2595 DA Den Haag Mostra sulla mappa Regione West-Nederland Zuid-Holland Agglomeratie ’s-Gravenhage Tipo di attività Research Organisations Collegamenti Contatta l’organizzazione Opens in new window Sito web Opens in new window Partecipazione a programmi di R&I dell'UE Opens in new window Rete di collaborazione HORIZON Opens in new window Costo totale € 1 572 032,50 NOVA LTD Israele Contribution nette de l'UE € 600 000,00 Indirizzo 5 DAVID FIKES ST 76100 REHOVOT Mostra sulla mappa Tipo di attività Private for-profit entities (excluding Higher or Secondary Education Establishments) Collegamenti Contatta l’organizzazione Opens in new window Sito web Opens in new window Partecipazione a programmi di R&I dell'UE Opens in new window Rete di collaborazione HORIZON Opens in new window Costo totale € 2 400 000,00 BRUKER TECHNOLOGIES LTD Israele Contribution nette de l'UE € 276 882,11 Indirizzo 6 HAMECHKAR STREET RAMAT GAVRIEL INDUSTRIAL ZONE 2306990 Migdal Haemek Mostra sulla mappa Tipo di attività Private for-profit entities (excluding Higher or Secondary Education Establishments) Collegamenti Contatta l’organizzazione Opens in new window Partecipazione a programmi di R&I dell'UE Opens in new window Rete di collaborazione HORIZON Opens in new window Costo totale € 1 524 375,00 Terza parte Soggetto giuridico diverso da un subappaltatore che è affiliato o legalmente collegato a un partecipante. Il soggetto svolge le attività secondo le condizioni stabilite nell’accordo di sovvenzione, fornisce beni o servizi per l’azione, ma non ha sottoscritto l’accordo di sovvenzione. Una terza parte rispetta le regole applicabili al suo partecipante correlato ai sensi dell’accordo di sovvenzione per quanto riguarda l’ammissibilità dei costi e il controllo delle spese. Jordan Valley Semiconductors UK Ltd Regno Unito Contribution nette de l'UE € 81 211,64 Indirizzo BELMONT BUSINESS PARK BELMONT DH1 1TW Durham Mostra sulla mappa PMI L’organizzazione si è definita una PMI (piccola e media impresa) al momento della firma dell’accordo di sovvenzione. Sì Regione North East (England) Tees Valley and Durham Durham CC Tipo di attività Private for-profit entities (excluding Higher or Secondary Education Establishments) Collegamenti Contatta l’organizzazione Opens in new window Partecipazione a programmi di R&I dell'UE Opens in new window Rete di collaborazione HORIZON Opens in new window Costo totale € 324 846,56 Terza parte Soggetto giuridico diverso da un subappaltatore che è affiliato o legalmente collegato a un partecipante. Il soggetto svolge le attività secondo le condizioni stabilite nell’accordo di sovvenzione, fornisce beni o servizi per l’azione, ma non ha sottoscritto l’accordo di sovvenzione. Una terza parte rispetta le regole applicabili al suo partecipante correlato ai sensi dell’accordo di sovvenzione per quanto riguarda l’ammissibilità dei costi e il controllo delle spese. BRUKER AXS GMBH Germania Contribution nette de l'UE € 23 000,00 Indirizzo OSTLICHE RHEINBRUCKENSTRASSE 49 76187 Karlsruhe Mostra sulla mappa Regione Baden-Württemberg Karlsruhe Karlsruhe, Stadtkreis Tipo di attività Private for-profit entities (excluding Higher or Secondary Education Establishments) Collegamenti Contatta l’organizzazione Opens in new window Sito web Opens in new window Partecipazione a programmi di R&I dell'UE Opens in new window Rete di collaborazione HORIZON Opens in new window Costo totale € 92 000,00 COMMISSARIAT A L ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIES ALTERNATIVES Francia Contribution nette de l'UE € 525 062,50 Indirizzo RUE LEBLANC 25 75015 PARIS 15 Mostra sulla mappa Regione Ile-de-France Ile-de-France Paris Tipo di attività Research Organisations Collegamenti Contatta l’organizzazione Opens in new window Sito web Opens in new window Partecipazione a programmi di R&I dell'UE Opens in new window Rete di collaborazione HORIZON Opens in new window Costo totale € 1 312 656,25 ATTOLIGHT SA Svizzera Contribution nette de l'UE € 0,00 Indirizzo EPFL INNOVATION PARK BUILDING D 1015 Lausanne Mostra sulla mappa PMI L’organizzazione si è definita una PMI (piccola e media impresa) al momento della firma dell’accordo di sovvenzione. Sì Regione Schweiz/Suisse/Svizzera Région lémanique Vaud Tipo di attività Private for-profit entities (excluding Higher or Secondary Education Establishments) Collegamenti Contatta l’organizzazione Opens in new window Partecipazione a programmi di R&I dell'UE Opens in new window Rete di collaborazione HORIZON Opens in new window Costo totale € 715 000,00 SEMILAB FELVEZETO FIZIKAI LABORATORIUM ZARTKORUEN MUKODO RESZVENYTARSASAG Ungheria Contribution nette de l'UE € 531 250,00 Indirizzo PRIELLE KORNELIA UTCA 2 1117 BUDAPEST Mostra sulla mappa Regione Közép-Magyarország Budapest Budapest Tipo di attività Private for-profit entities (excluding Higher or Secondary Education Establishments) Collegamenti Contatta l’organizzazione Opens in new window Sito web Opens in new window Partecipazione a programmi di R&I dell'UE Opens in new window Rete di collaborazione HORIZON Opens in new window Costo totale € 2 125 000,00 CAMECA SAS Francia Contribution nette de l'UE € 344 562,50 Indirizzo QUAI DES GRESILLONS 23/29 92230 Gennevilliers Mostra sulla mappa Regione Ile-de-France Ile-de-France Hauts-de-Seine Tipo di attività Private for-profit entities (excluding Higher or Secondary Education Establishments) Collegamenti Contatta l’organizzazione Opens in new window Partecipazione a programmi di R&I dell'UE Opens in new window Rete di collaborazione HORIZON Opens in new window Costo totale € 1 378 250,00 ADAMA INNOVATIONS LIMITED Partecipazione conclusa Irlanda Contribution nette de l'UE € 90 810,38 Indirizzo CRANN TRINITY COLLEGE DUBLIN 2 Dublin Mostra sulla mappa PMI L’organizzazione si è definita una PMI (piccola e media impresa) al momento della firma dell’accordo di sovvenzione. Sì Regione Ireland Northern and Western Border Tipo di attività Private for-profit entities (excluding Higher or Secondary Education Establishments) Collegamenti Contatta l’organizzazione Opens in new window Partecipazione a programmi di R&I dell'UE Opens in new window Rete di collaborazione HORIZON Opens in new window Costo totale € 302 701,25 FEI SAS Francia Contribution nette de l'UE € 207 500,00 Indirizzo IMPASSE RUDOLF DIESEL 3 33700 Merignac Mostra sulla mappa Regione Nouvelle-Aquitaine Aquitaine Gironde Tipo di attività Private for-profit entities (excluding Higher or Secondary Education Establishments) Collegamenti Contatta l’organizzazione Opens in new window Sito web Opens in new window Partecipazione a programmi di R&I dell'UE Opens in new window Rete di collaborazione HORIZON Opens in new window Costo totale € 830 000,00 STMICROELECTRONICS CROLLES 2 SAS Francia Contribution nette de l'UE € 0,00 Indirizzo RUE JEAN MONNET 850 38920 Crolles Mostra sulla mappa Regione Auvergne-Rhône-Alpes Rhône-Alpes Isère Tipo di attività Private for-profit entities (excluding Higher or Secondary Education Establishments) Collegamenti Contatta l’organizzazione Opens in new window Sito web Opens in new window Partecipazione a programmi di R&I dell'UE Opens in new window Rete di collaborazione HORIZON Opens in new window Costo totale € 143 750,00 TECHNISCHE UNIVERSITEIT EINDHOVEN Paesi Bassi Contribution nette de l'UE € 145 179,50 Indirizzo GROENE LOPER 3 5612 AE Eindhoven Mostra sulla mappa Regione Zuid-Nederland Noord-Brabant Zuidoost-Noord-Brabant Tipo di attività Higher or Secondary Education Establishments Collegamenti Contatta l’organizzazione Opens in new window Sito web Opens in new window Partecipazione a programmi di R&I dell'UE Opens in new window Rete di collaborazione HORIZON Opens in new window Costo totale € 362 948,75 CAPRES AS Danimarca Contribution nette de l'UE € 77 474,25 Indirizzo DIPLOMVEJ 373 2800 KGS. LYNGBY Mostra sulla mappa PMI L’organizzazione si è definita una PMI (piccola e media impresa) al momento della firma dell’accordo di sovvenzione. Sì Regione Danmark Hovedstaden Københavns omegn Tipo di attività Private for-profit entities (excluding Higher or Secondary Education Establishments) Collegamenti Contatta l’organizzazione Opens in new window Partecipazione a programmi di R&I dell'UE Opens in new window Rete di collaborazione HORIZON Opens in new window Costo totale € 258 247,50 DANMARKS TEKNISKE UNIVERSITET Danimarca Contribution nette de l'UE € 191 258,50 Indirizzo ANKER ENGELUNDS VEJ 101 2800 Kongens Lyngby Mostra sulla mappa Regione Danmark Hovedstaden Københavns omegn Tipo di attività Higher or Secondary Education Establishments Collegamenti Contatta l’organizzazione Opens in new window Sito web Opens in new window Partecipazione a programmi di R&I dell'UE Opens in new window Rete di collaborazione HORIZON Opens in new window Costo totale € 478 146,25 APPLIED MATERIALS FRANCE Francia Contribution nette de l'UE € 15 718,75 Indirizzo 864 CHEMIN DES FONTAINES 38190 Bernin Mostra sulla mappa Regione Auvergne-Rhône-Alpes Rhône-Alpes Isère Tipo di attività Private for-profit entities (excluding Higher or Secondary Education Establishments) Collegamenti Contatta l’organizzazione Opens in new window Partecipazione a programmi di R&I dell'UE Opens in new window Rete di collaborazione HORIZON Opens in new window Costo totale € 62 875,00
