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The production and calibration of a sub-micrometre photomask linewidth standard

De 1995-01-01 à 1997-06-30

Détails concernant le projet

Coût total:

Non disponible

Contribution de l'UE:

Non disponible

Coordonné à/au(x)/en:

United Kingdom

Sujet(s):

Régime de financement:

CSC - Cost-sharing contracts

Coordinateur

National Physical Laboratory (NPL)
United Kingdom
Queen's Road
TW11 0LW Teddington
United Kingdom
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Participants

Dupont Photomask SA
France
Rue Olivier Perroy
13790 Rousset
France
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Contact administratif: N/A
PHYSIKALISCH-TECHNISCHE BUNDESANSTALT
Germany
Bundesallee 100
BRAUNSCHWEIG
Germany
Contact administratif: N/A