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The Creation of a Software Tool for the Resist Heating Effect Correction in Electron Beam Lithography on the Base of Experimental Investigation and Verification

Von 1995-04-01 bis 1997-03-31

Projektdetails

Gesamtkosten:

Nicht verfügbar

EU-Beitrag:

Nicht verfügbar

Koordiniert in:

Germany

Thema(en):

Finanzierungsprogramm:

CSC - Cost-sharing contracts

Ziel

Koordinator

AISS GmbH
Germany
Gotzinger Straße 46
81371 München
Germany
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Administrative Kontaktangaben: Thomas WAAS
Tel.: +49-89-74610212
Fax: +49-89-7254357
E-Mail-Adresse

Teilnehmer

Institute of Computer Systems
Slovakia
Bratislava
Slovakia
SET-SERVIS
Russia
Moscow
Russia
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