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The Creation of a Software Tool for the Resist Heating Effect Correction in Electron Beam Lithography on the Base of Experimental Investigation and Verification

Desde 1995-04-01 hasta 1997-03-31

Detalles del proyecto

Coste total:

No disponible

Aportación de la UE:

No disponible

Coordinado en:

Germany

Tema(s):

Régimen de financiación:

CSC - Cost-sharing contracts

Objetivo

Coordinador

AISS GmbH
Germany
Gotzinger Straße 46
81371 München
Germany
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Contacto administrativo: Thomas WAAS
Tel.: +49-89-74610212
Fax: +49-89-7254357
Correo electrónico

Participantes

Institute of Computer Systems
Slovakia
Bratislava
Slovakia
SET-SERVIS
Russia
Moscow
Russia
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