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Excimer laser lithography project for sub quarter micron era

Desde 1996-02-01 hasta 1997-07-31

Detalles del proyecto

Coste total:

EUR 7 600 000

Aportación de la UE:

EUR 3 800 000

Coordinado en:

France

Régimen de financiación:

CSC - Cost-sharing contracts

Objetivo

Información relacionada

Coordinador

Grenoble Submicron Silicon
France
Avenue Des Martyrs 17
38054 Grenoble 9
France
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Contacto administrativo: Jean-Marc TEMERSON
Tel.: +33-476764240
Fax: +33-476903443

Participantes

Asm Lithography B.V.
Netherlands
De Run, 110
5503 LA Veldhoven
Netherlands
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Contacto administrativo: Stefan WITTEKOEK
Tel.: +31-402303310
Fax: +31-402303655
CCLRC Rutherford Appleton Laboratory (RAL)
United Kingdom
Chilton
OX11 0QX Didcot
United Kingdom
Contacto administrativo: Francis GOODALL
Fax: +44-236445391
Carl Zeiss
Germany
Carl Zeiss-Str. 4-54 4-54
73446 Oberkochen
Germany
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Contacto administrativo: OSWALD
Tel.: +49-7364203141
Fax: +49-73646808
Exitech Ltd
United Kingdom
Hanborough Park
OX7 2LH Long Hanborough
United Kingdom
Contacto administrativo: Malcolm GOWER
Tel.: +44-1993-883324
Fax: +44-1993-883334
Correo electrónico
HERAEUS QUARZSCHMELZE
Germany
QUARZSTRAßE 8
63450 HANAU
Germany
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Contacto administrativo: Stephen THOMAS
Tel.: +49-06181367435
Fax: +49-0618139420
Interuniversity Microelectronics Centre
Belgium
Kapeldreef 75
3001 Leuven
Belgium
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Contacto administrativo: Luc VAN DEN HOVE
Tel.: +32-16-281323
Fax: +32-16-281214
Korth Kristalle Gmbh
Germany
Am Jaegersberg 3
24161 Altenholz
Germany
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Contacto administrativo: Gunther WEHRHAN
Tel.: +49-431362051
Fax: +49-43136626
Lambda Physic Gesellschaft Zur Herstellung Von Lasern Mbh
Germany
Hans-Boeckler-Strasse 12
37079 Goettingen
Germany
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Contacto administrativo: Uwe STAMM
Tel.: +49-5516-938201
Fax: +49-5516-8691
Correo electrónico
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