Cel - Provision of concepts for a 193 nm lithography tool.- Development of a 193 nm excimer laser.- Selection of optical materials for use in and predevelopment of a 193 nm projection system.- Definition of user requirements for a production exposure tool.- Resists predevelopment and evaluation.The project links leading European materials and equipment suppliers and research institutes in the area of advanced lithography, being the first phase of a combined European effort to provide 193 nm lithography tools and resists for the Gigabit DRAM technology generations, i.e. for 0.18 and 0.12 micron feature sizes. The two main workpackages will focus on production exposure tool design and predevelopment and on a litho cell for 193 nm process development. The ultimate goal is to make available a European optical exposure tool and resist processes compatible with 0.18/0.12 micron manufacturing requirements by the year 2000. Dziedzina nauki natural sciencesphysical sciencesopticslaser physics Program(-y) FP4-ESPRIT 4 - Specific research and technological development programme in the field of information technologies, 1994-1998 Temat(-y) 2.8 - Semiconductors - Building blocks, methods & tools Zaproszenie do składania wniosków Data not available System finansowania CSC - Cost-sharing contracts Koordynator Grenoble Submicron Silicon Wkład UE Brak danych Adres Avenue Des Martyrs 17 38054 Grenoble 9 Francja Zobacz na mapie Koszt całkowity Brak danych Uczestnicy (8) Sortuj alfabetycznie Sortuj według wkładu UE Rozwiń wszystko Zwiń wszystko Asm Lithography B.V. Niderlandy Wkład UE Brak danych Adres De Run, 110 5503 LA Veldhoven Zobacz na mapie Koszt całkowity Brak danych CCLRC Rutherford Appleton Laboratory (RAL) Zjednoczone Królestwo Wkład UE Brak danych Adres Chilton OX11 0QX Didcot Zobacz na mapie Linki Strona internetowa Opens in new window Koszt całkowity Brak danych Carl Zeiss Niemcy Wkład UE Brak danych Adres Carl Zeiss-Str. 4-54 4-54 73446 Oberkochen Zobacz na mapie Koszt całkowity Brak danych Exitech Ltd Zjednoczone Królestwo Wkład UE Brak danych Adres Hanborough Park OX7 2LH Long Hanborough Zobacz na mapie Koszt całkowity Brak danych HERAEUS QUARZSCHMELZE Niemcy Wkład UE Brak danych Adres QUARZSTRAßE 8 63450 HANAU Zobacz na mapie Koszt całkowity Brak danych Interuniversity Microelectronics Centre Belgia Wkład UE Brak danych Adres Kapeldreef 75 3001 Leuven Zobacz na mapie Koszt całkowity Brak danych Korth Kristalle Gmbh Niemcy Wkład UE Brak danych Adres Am Jaegersberg 3 24161 Altenholz Zobacz na mapie Koszt całkowity Brak danych Lambda Physic Gesellschaft Zur Herstellung Von Lasern Mbh Niemcy Wkład UE Brak danych Adres Hans-Boeckler-Strasse 12 37079 Goettingen Zobacz na mapie Koszt całkowity Brak danych