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Nanolithography using chemically amplified resists

Dal 1996-01-01 al 1998-12-31 | NANCAR Sito web

Dettagli del progetto

Costo totale:

EUR 1 730 200

Contributo UE:

EUR 977 600

Coordinato in:

United Kingdom

Meccanismo di finanziamento:

CSC - Cost-sharing contracts

Obiettivo

Coordinatore

CCLRC Rutherford Appleton Laboratory (RAL)
United Kingdom
Chilton
OX11 0QX Didcot
United Kingdom
Contatto amministrativo: Philip Doughty PREWETT
Tel.: +44-1235445159
Fax: +44-1235445706

Partecipanti

Centro Studi E Laboratori Telecomunicazioni
Italy
Via G. Reiss Romoli 274
10148 Torino
Italy
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Contatto amministrativo: Giancarlo MENEGHINI
Tel.: +39-11-2285350
Fax: +39-11-2285696
Institute of Microelectronics (Imel)
Greece
15310 Aghia Paraskevi
Greece
Contatto amministrativo: Michael HATZAKIS
Tel.: +30-210-6540796
Fax: +30-210-6511723
Instituto diElettronica Dello Stato Solido del Consiglio Nazionale Delle Richerche
Italy
Via Ciento Romano 42
00156 Roma
Italy
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Contatto amministrativo: Massimo GENTILI
Tel.: +39-06415221
Fax: +39-0641522220
SIGMA-C GmbH
Germany
Rosenheimer Landstraße 74
85521 Ottobrunn
Germany
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Contatto amministrativo: Christian KALUS
Tel.: +49-896096051
Fax: +49-896098112
E-mail