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Evaluation of a highly productive computer controlled microwave barrel ash system for IC fabrication

Von 1995-12-08 bis 1997-03-07

Projektdetails

Gesamtkosten:

EUR 550 000

EU-Beitrag:

EUR 275 000

Koordiniert in:

Austria

Finanzierungsprogramm:

ACM - Preparatory, accompanying and support measures

Ziel

Koordinator

Siemens Bauelemente Ohg
Austria
Siemensstrasse 2
9500 Villach
Austria
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Administrative Kontaktangaben: Michael SCHWARK
Tel.: +43-4242-305524
Fax: +43-4242-305401
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