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Evaluation of a highly productive computer controlled microwave barrel ash system for IC fabrication

Dal 1995-12-08 al 1997-03-07

Dettagli del progetto

Costo totale:

EUR 550 000

Contributo UE:

EUR 275 000

Coordinato in:

Austria

Meccanismo di finanziamento:

ACM - Preparatory, accompanying and support measures

Obiettivo

Coordinatore

Siemens Bauelemente Ohg
Austria
Siemensstrasse 2
9500 Villach
Austria
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Contatto amministrativo: Michael SCHWARK
Tel.: +43-4242-305524
Fax: +43-4242-305401