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Sigma 204 force fill assessment for 0.5 microns contact/via al(0.5 %cu) plug technology in high volume production environment

Von 1995-12-01 bis 1996-12-31

Projektdetails

Gesamtkosten:

EUR 5 880 000

EU-Beitrag:

EUR 2 940 000

Koordiniert in:

Germany

Finanzierungsprogramm:

ACM - Preparatory, accompanying and support measures

Ziel

Koordinator

Texas Instruments Deutschland Gmbh
Germany
Haggertystrasse 1
85356 Freising
Germany
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Administrative Kontaktangaben: Leo STROTH
Tel.: +49-8161804070
Fax: +49-8161803350
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