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Sigma 204 force fill assessment for 0.5 microns contact/via al(0.5 %cu) plug technology in high volume production environment

Dal 1995-12-01 al 1996-12-31

Dettagli del progetto

Costo totale:

EUR 5 880 000

Contributo UE:

EUR 2 940 000

Coordinato in:

Germany

Meccanismo di finanziamento:

ACM - Preparatory, accompanying and support measures

Obiettivo

Coordinatore

Texas Instruments Deutschland Gmbh
Germany
Haggertystrasse 1
85356 Freising
Germany
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Contatto amministrativo: Leo STROTH
Tel.: +49-8161804070
Fax: +49-8161803350