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Hot cluster for integrated vapour phases cleaning and processing of dielectrics and insitu doped polysilicon

Von 1996-06-01 bis 1998-09-30

Projektdetails

Gesamtkosten:

EUR 5 600 000

EU-Beitrag:

EUR 2 800 000

Koordiniert in:

Germany

Finanzierungsprogramm:

ACM - Preparatory, accompanying and support measures

Ziel

Koordinator

Siemens Ag, Semiconductor Group
Germany
Balanstrasse 73
81541 Muenchen
Germany
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Administrative Kontaktangaben: Alexander GSCHWANDTNER
Tel.: +49-89-63645067
Fax: +49-89-63644236
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