Service Communautaire d'Information sur la Recherche et le Développement - CORDIS

Hot cluster for integrated vapour phases cleaning and processing of dielectrics and insitu doped polysilicon

De 1996-06-01 à 1998-09-30

Détails concernant le projet

Coût total:

EUR 5 600 000

Contribution de l'UE:

EUR 2 800 000

Coordonné à/au(x)/en:

Germany

Régime de financement:

ACM - Preparatory, accompanying and support measures

Objectif

Coordinateur

Siemens Ag, Semiconductor Group
Germany
Balanstrasse 73
81541 Muenchen
Germany
See on map
Contact administratif: Alexander GSCHWANDTNER
Tél.: +49-89-63645067
Fax: +49-89-63644236