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European deep UV stepper assessment

Von 1996-06-01 bis 1998-02-28

Projektdetails

Gesamtkosten:

EUR 6 620 000

EU-Beitrag:

EUR 3 310 000

Koordiniert in:

Belgium

Finanzierungsprogramm:

ACM - Preparatory, accompanying and support measures

Ziel

Koordinator

Interuniversity Microelectronics Centre
Belgium
Kapeldreef 75
3001 Leuven
Belgium
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Administrative Kontaktangaben: Luc VAN DEN HOVE
Tel.: +32-16-281323
Fax: +32-16-281214
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