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European deep UV stepper assessment

De 1996-06-01 à 1998-02-28

Détails concernant le projet

Coût total:

EUR 6 620 000

Contribution de l'UE:

EUR 3 310 000

Coordonné à/au(x)/en:

Belgium

Régime de financement:

ACM - Preparatory, accompanying and support measures

Objectif

Coordinateur

Interuniversity Microelectronics Centre
Belgium
Kapeldreef 75
3001 Leuven
Belgium
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Contact administratif: Luc VAN DEN HOVE
Tél.: +32-16-281323
Fax: +32-16-281214