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Automated wet bench for critical pre-oxidation treatments for sub-half micron applications

Desde 1995-12-01 hasta 1997-10-31

Detalles del proyecto

Coste total:

EUR 2 500 000

Aportación de la UE:

EUR 1 250 000

Coordinado en:

Italy

Régimen de financiación:

ACM - Preparatory, accompanying and support measures

Objetivo

Coordinador

Sgs-Thomson Microelectronics
Italy
Via C. Olivetti 2
20041 Agrate Brianza
Italy
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Contacto administrativo: ALESSANDRI
Tel.: +39-396035852
Fax: +39-396035233
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