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Total environment fab waste gas management via networked and monitored escape disposal systems

Desde 1995-12-08 hasta 1997-04-07

Detalles del proyecto

Coste total:

EUR 1 260 000

Aportación de la UE:

EUR 630 000

Coordinado en:

Germany

Régimen de financiación:

EST - Marie Curie actions-Early-stage Training

Objetivo

Coordinador

Zentrum Mikroelektronik Dresden
Germany
Grenzstrasse 28
01109 Dresden
Germany
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Contacto administrativo: Guenther VON RUTHENDORF
Tel.: +49-351-8822287
Fax: +49-351-8822276
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