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Total environment fab waste gas management via networked and monitored escape disposal systems

De 1995-12-08 à 1997-04-07

Détails concernant le projet

Coût total:

EUR 1 260 000

Contribution de l'UE:

EUR 630 000

Coordonné à/au(x)/en:

Germany

Régime de financement:

EST - Marie Curie actions-Early-stage Training

Objectif

Coordinateur

Zentrum Mikroelektronik Dresden
Germany
Grenzstrasse 28
01109 Dresden
Germany
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Contact administratif: Guenther VON RUTHENDORF
Tél.: +49-351-8822287
Fax: +49-351-8822276