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Total environment fab waste gas management via networked and monitored escape disposal systems

Dal 1995-12-08 al 1997-04-07

Dettagli del progetto

Costo totale:

EUR 1 260 000

Contributo UE:

EUR 630 000

Coordinato in:

Germany

Meccanismo di finanziamento:

EST - Marie Curie actions-Early-stage Training

Obiettivo

Coordinatore

Zentrum Mikroelektronik Dresden
Germany
Grenzstrasse 28
01109 Dresden
Germany
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Contatto amministrativo: Guenther VON RUTHENDORF
Tel.: +49-351-8822287
Fax: +49-351-8822276