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In line ellipsometer for thickness control

Von 1996-04-01 bis 1997-03-31

Projektdetails

Gesamtkosten:

EUR 800 000

EU-Beitrag:

EUR 400 000

Koordiniert in:

Germany

Finanzierungsprogramm:

OIF - Marie Curie actions-Outgoing International Fellowships

Ziel

Koordinator

Smst Submicron Semiconductor Technologies
Germany
Schickardstrasse 25
71004 Boblingen
Germany
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Administrative Kontaktangaben: Martin HAFNER
Tel.: +49-7031184625
Fax: +49-7031185175
E-Mail-Adresse
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