Servicio de Información Comunitario sobre Investigación y Desarrollo - CORDIS

In line ellipsometer for thickness control

Desde 1996-04-01 hasta 1997-03-31

Detalles del proyecto

Coste total:

EUR 800 000

Aportación de la UE:

EUR 400 000

Coordinado en:

Germany

Régimen de financiación:

OIF - Marie Curie actions-Outgoing International Fellowships

Objetivo

Coordinador

Smst Submicron Semiconductor Technologies
Germany
Schickardstrasse 25
71004 Boblingen
Germany
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Contacto administrativo: Martin HAFNER
Tel.: +49-7031184625
Fax: +49-7031185175
Correo electrónico
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