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In line ellipsometer for thickness control

De 1996-04-01 à 1997-03-31

Détails concernant le projet

Coût total:

EUR 800 000

Contribution de l'UE:

EUR 400 000

Coordonné à/au(x)/en:

Germany

Régime de financement:

OIF - Marie Curie actions-Outgoing International Fellowships

Objectif

Coordinateur

Smst Submicron Semiconductor Technologies
Germany
Schickardstrasse 25
71004 Boblingen
Germany
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Contact administratif: Martin HAFNER
Tél.: +49-7031184625
Fax: +49-7031185175
E-mail