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In line ellipsometer for thickness control

Dal 1996-04-01 al 1997-03-31

Dettagli del progetto

Costo totale:

EUR 800 000

Contributo UE:

EUR 400 000

Coordinato in:

Germany

Meccanismo di finanziamento:

OIF - Marie Curie actions-Outgoing International Fellowships

Obiettivo

Coordinatore

Smst Submicron Semiconductor Technologies
Germany
Schickardstrasse 25
71004 Boblingen
Germany
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Contatto amministrativo: Martin HAFNER
Tel.: +49-7031184625
Fax: +49-7031185175
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