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Metrology equipment test for overlay reading for sub-halfmicron technology

Von 1997-02-01 bis 1998-04-30

Projektdetails

Gesamtkosten:

EUR 1 348 000

EU-Beitrag:

EUR 674 000

Koordiniert in:

France

Finanzierungsprogramm:

ACM - Preparatory, accompanying and support measures

Ziel

Koordinator

Grenoble Submicron Silicon
France
Avenue Des Martyrs 17
38054 Grenoble 9
France
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Administrative Kontaktangaben: Gilles FANGET
Tel.: +33-76884918
Fax: +33-76883034
E-Mail-Adresse
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