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Metrology equipment test for overlay reading for sub-halfmicron technology

De 1997-02-01 à 1998-04-30

Détails concernant le projet

Coût total:

EUR 1 348 000

Contribution de l'UE:

EUR 674 000

Coordonné à/au(x)/en:

France

Régime de financement:

ACM - Preparatory, accompanying and support measures

Objectif

Coordinateur

Grenoble Submicron Silicon
France
Avenue Des Martyrs 17
38054 Grenoble 9
France
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Contact administratif: Gilles FANGET
Tél.: +33-76884918
Fax: +33-76883034
E-mail