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Metrology equipment test for overlay reading for sub-halfmicron technology

Dal 1997-02-01 al 1998-04-30

Dettagli del progetto

Costo totale:

EUR 1 348 000

Contributo UE:

EUR 674 000

Coordinato in:

France

Meccanismo di finanziamento:

ACM - Preparatory, accompanying and support measures

Obiettivo

Coordinatore

Grenoble Submicron Silicon
France
Avenue Des Martyrs 17
38054 Grenoble 9
France
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Contatto amministrativo: Gilles FANGET
Tel.: +33-76884918
Fax: +33-76883034
E-mail