Objectif While testing electrical properties in microsystems is a well-developed art the testing of mechanical properties of MicroElectroMechanical Systems (MEMS) is not. However, the micromechanical characterisation plays a crucial role, both during design and development of microstructures and during chip-production, assemblage and life cycles of the finished MEMS products.Two different optical approaches are proposed to improve the MEMS testability, based on:i) on-chip integrated techniques and;ii) external full-field interferomety. The qualification and validation of proposed testability procedure is made by industrial driven demonstrations and application examples (data storage, microsensors for avionics). The OCMM proposal represents the European module of a world-wide cluster that is going to co-operate within an IMS action, where an interdisciplinary and industry-led consortium has been formed. Mots‑clés Nanotechnology Programme(s) FP5-GROWTH - Programme for research technological development and demonstration on "Competitive and sustainable growth 1998-2002" Thème(s) 1.1.3.-1. - Key Action Innovative Products, Processes and Organisation Appel à propositions Data not available Régime de financement CSC - Cost-sharing contracts Coordinateur UNIVERSITÉ DE FRANCHE-COMTÉ Contribution de l’UE Aucune donnée Adresse Route de Gray 16 25030 BESANCON France Voir sur la carte Coût total Aucune donnée Participants (10) Trier par ordre alphabétique Trier par contribution de l’UE Tout développer Tout réduire FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FOERDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V. Allemagne Contribution de l’UE Aucune donnée Adresse Reichenhainer Straße 88 09126 Chemnitz Voir sur la carte Coût total Aucune donnée GFMESSTECHNIK GMBH Allemagne Contribution de l’UE Aucune donnée Adresse Warthestrasse 21 14513 TELTOW Voir sur la carte Coût total Aucune donnée LIONIX B.V. Pays-Bas Contribution de l’UE Aucune donnée Adresse Drienerlolaan 5, EL/TN Bldg, CR-PK 7522NB ENSCHEDE Voir sur la carte Coût total Aucune donnée ONSTREAM BV Pays-Bas Contribution de l’UE Aucune donnée Adresse Lodewijkstraat 1 5652 AC EINDHOVEN Voir sur la carte Coût total Aucune donnée TECHNISCHE UNIVERSITAET CHEMNITZ Allemagne Contribution de l’UE Aucune donnée Adresse Reichenhainer Straße 70 09107 CHEMNITZ Voir sur la carte Coût total Aucune donnée THALES AVIONICS SA France Contribution de l’UE Aucune donnée Adresse Rue de Villiers 45 NEUILLY SUR SEINE Voir sur la carte Liens Site web Opens in new window Coût total Aucune donnée THALES S.A. France Contribution de l’UE Aucune donnée Adresse Domaine de Corbeville 91404 ORSAY Voir sur la carte Coût total Aucune donnée UNIVERSITY OF TWENTE Pays-Bas Contribution de l’UE Aucune donnée Adresse Drienerlolaan 5 7500 AE ENSCHEDE Voir sur la carte Coût total Aucune donnée WARSAW UNIVERSITY OF TECHNOLOGY Pologne Contribution de l’UE Aucune donnée Adresse Chodkiewicza St. 8 02 525 WARSZAWA Voir sur la carte Coût total Aucune donnée YOLE DÉVELOPPEMENT France Contribution de l’UE Aucune donnée Adresse Rue Sainte Geneviève 45 69006 LYON Voir sur la carte Coût total Aucune donnée