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FP5

I-SPEEDER

Project ID: IST-1999-11261
Gefördert unter

Imagine a System and Processing Equipment for deep Etching with a Double Etch Rate

Von 2000-03-01 bis 2001-06-30

Projektdetails

Gesamtkosten:

EUR 1 106 092

EU-Beitrag:

EUR 800 000

Koordiniert in:

Germany

Finanzierungsprogramm:

ACM - Preparatory, accompanying and support measures

Ziel

Koordinator

ROBERT BOSCH GMBH
Germany
ROBERT-BOSCH-PLATZ1
70839 GERLINGEN-SCHILLERHOEHE
Germany
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Administrative Kontaktangaben: Andrea SCHILP
Tel.: +71-18-117239
Fax: +71-18-117669
E-Mail-Adresse

Teilnehmer

ALCATEL VACUUM TECHNOLOGY FRANCE
France
12 RUE DE LA BAUME
75008 PARIS 08
France
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Administrative Kontaktangaben: Michel PUECH
Tel.: +45-0657919
Fax: +45-0657583
E-Mail-Adresse
PERKINELMER OPTOELECTRONICS GMBH
Germany
WENZEL-JAKSCH-STRASSE 31
65199 WIESBADEN
Germany
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Administrative Kontaktangaben: Martin HAUSNER
Tel.: +61-14-92211/492379
Fax: +61-14-92199
E-Mail-Adresse
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