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FP5

I-SPEEDER

Project ID: IST-1999-11261
Financé au titre de

Imagine a System and Processing Equipment for deep Etching with a Double Etch Rate

De 2000-03-01 à 2001-06-30

Détails concernant le projet

Coût total:

EUR 1 106 092

Contribution de l'UE:

EUR 800 000

Coordonné à/au(x)/en:

Germany

Régime de financement:

ACM - Preparatory, accompanying and support measures

Objectif

Coordinateur

ROBERT BOSCH GMBH
Germany
ROBERT-BOSCH-PLATZ1
70839 GERLINGEN-SCHILLERHOEHE
Germany
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Contact administratif: Andrea SCHILP
Tél.: +71-18-117239
Fax: +71-18-117669
E-mail

Participants

ALCATEL VACUUM TECHNOLOGY FRANCE
France
12 RUE DE LA BAUME
75008 PARIS 08
France
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Contact administratif: Michel PUECH
Tél.: +45-0657919
Fax: +45-0657583
E-mail
PERKINELMER OPTOELECTRONICS GMBH
Germany
WENZEL-JAKSCH-STRASSE 31
65199 WIESBADEN
Germany
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Contact administratif: Martin HAUSNER
Tél.: +61-14-92211/492379
Fax: +61-14-92199
E-mail