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FP5

PIRANHA

Project ID: IST-1999-10334
Gefördert unter

Particle Inspection for Advanced New Photomask Applications

Von 2000-01-01 bis 2002-02-28

Projektdetails

Gesamtkosten:

EUR 5 285 633

EU-Beitrag:

EUR 2 709 862

Koordiniert in:

Germany

Finanzierungsprogramm:

CSC - Cost-sharing contracts

Ziel

Koordinator

INFINEON TECHNOLOGIES AG
Germany
ST. MARTIN STRASSE 53
81609 MUENCHEN
Germany
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Administrative Kontaktangaben: Monika FEDERLE
Tel.: +89-23-422677
Fax: +89-23-424449
E-Mail-Adresse

Teilnehmer

INTERUNIVERSITAIR MICRO-ELECTRONICA CENTRUM VZW
Belgium
KAPELDREEF 75
3001 LEUVEN
Belgium
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Administrative Kontaktangaben: Rik JONCKHEERE
Tel.: +16-28-1340
Fax: +16-28-1214
E-Mail-Adresse
LEICA MICROSYSTEMS WETZLAR GMBH
Germany
ERNST-LEITZ STRASSE 17-37
35578 WETZLAR
Germany
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Administrative Kontaktangaben: Wolfgang VOLLRATH
Tel.: +64-41-292651
Fax: +64-41-292333
E-Mail-Adresse
MICRO CONTROLE SA.
France
11 RUE DE BOIS SAUVAGE
91000 EVRY
France
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Administrative Kontaktangaben: Roger DESAILLY
Tel.: +23-84-05073
Fax: +23-84-05001
E-Mail-Adresse
THE UNIVERSITY OF NOTTINGHAM
United Kingdom
UNIVERSITY PARK
NG7 2RD NOTTINGHAM
United Kingdom
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Administrative Kontaktangaben: Guoping QIU
Tel.: +13-32-335430
Fax: +13-32-335468
E-Mail-Adresse
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