Objectif The industry roadmap calls for ICs with feature sizes of 100 nm after 2002. Due to the danger of catastrophic yield loss caused by small defects and due to the value of the wafers, volume production will require recurrent assessment of critical level masks prior to their application in the lithographic process in order to detect any deterioration (particles, damage). The project will develop a high speed mask inspection system (10 min. for a 6" reticle) with very high sensitivity (80 nm). This performance will be achieved through the development of high resolution DUV optics with long working distance, high speed/ accuracy/stability stage and fast real-time image processing. A photo-mask defect printability study at 193 nm will compare prototype performance to 100nm node manufacturing needs. Champ scientifique natural sciencesphysical sciencesoptics Programme(s) FP5-IST - Programme for research, technological development and demonstration on a "User-friendly information society, 1998-2002" Thème(s) 1.1.2.-4.8.3 - Processes, equipment and materials Appel à propositions Data not available Régime de financement CSC - Cost-sharing contracts Coordinateur INFINEON TECHNOLOGIES AG Contribution de l’UE Aucune donnée Adresse ST. MARTIN STRASSE 53 81609 MUENCHEN Allemagne Voir sur la carte Coût total Aucune donnée Participants (4) Trier par ordre alphabétique Trier par contribution de l’UE Tout développer Tout réduire INTERUNIVERSITAIR MICRO-ELECTRONICA CENTRUM VZW Belgique Contribution de l’UE Aucune donnée Adresse KAPELDREEF 75 3001 LEUVEN Voir sur la carte Coût total Aucune donnée LEICA MICROSYSTEMS WETZLAR GMBH Allemagne Contribution de l’UE Aucune donnée Adresse ERNST-LEITZ STRASSE 17-37 35578 WETZLAR Voir sur la carte Coût total Aucune donnée MICRO CONTROLE SA. France Contribution de l’UE Aucune donnée Adresse 11 RUE DE BOIS SAUVAGE 91000 EVRY Voir sur la carte Coût total Aucune donnée THE UNIVERSITY OF NOTTINGHAM Royaume-Uni Contribution de l’UE Aucune donnée Adresse UNIVERSITY PARK NG7 2RD NOTTINGHAM Voir sur la carte Coût total Aucune donnée
