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FP5

NANOLITH

Project ID: IST-1999-11806
Financiado con arreglo a

ARRAYS OF MICROGUNS FOR PARALLEL E-BEAM NANOLITHOGRAPHY

Desde 2000-01-01 hasta 2003-06-30

Detalles del proyecto

Coste total:

EUR 2 647 667

Aportación de la UE:

EUR 1 472 753

Coordinado en:

France

Régimen de financiación:

CSC - Cost-sharing contracts

Objetivo

Coordinador

THALES
France
45 Rue De Villiers
92200 Neuilly Sur Seine
France
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Contacto administrativo: Pierre LEGAGNEUX
Tel.: +33-01-69339144
Fax: +33-01-69330740
Correo electrónico

Participantes

CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE
France
3, RUE MICHEL-ANGE
75794 PARIS CEDEX 16
France
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Contacto administrativo: Binh VU THIEN
Tel.: +33-47-8580010
FRAUNHOFER GESELLSCHAFT ZUR FOERDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V.
Germany
HANSASTRASSE 27C
80686 MUENCHEN
Germany
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Contacto administrativo: Detlef FRIEDRICH
Tel.: +48-21-174301
Fax: +48-21-174251
Correo electrónico
THE CHANCELLOR, MASTERS AND SCHOLARS OF THE UNIVERSITY OF CAMBRIDGE
United Kingdom
The Old Schools, Trinity Lane
CB21TT CAMBRIDGE
United Kingdom
Contacto administrativo: William MILNE, (Head of Electrical Engineering)
Tel.: +44-1223-332757
Fax: +44-1223-766207
Correo electrónico
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