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FP5

APC300

Project ID: IST-1999-11826
Gefördert unter

Advanced Process Control for 300mm plasma production process

Von 2000-01-01 bis 2001-10-31 | APC300 Website

Projektdetails

Gesamtkosten:

EUR 2 751 100

EU-Beitrag:

EUR 1 269 881

Koordiniert in:

Germany

Finanzierungsprogramm:

ACM - Preparatory, accompanying and support measures

Ziel

Koordinator

INFINEON TECHNOLOGIES SC300 GMBH & CO.KG
Germany
KOENIGSBRUECKER STRASSE 180
01099 DRESDEN
Germany
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Administrative Kontaktangaben: Volker TEGEDER
Tel.: +35-18-867353
Fax: +35-18-867352
E-Mail-Adresse

Teilnehmer

ADOLF-SLABY-INSTITUT FORSCHUNGSGESELLSCHAFT FUER PLASMATECHNOLOGIE UND MIKROSTRUKTURIERUNG MBH
Germany
RUDOWER CHAUSSEE 30
12489 BERLIN
Germany
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Administrative Kontaktangaben: Dirk SUCHLAND
Tel.: +30-2630-925040
Fax: +30-2630-925041
AMD SAXONY MANUFACTURING GMBH
Germany
WILSCHDORFER LANDSTRASSE 101
01109 DRESDEN
Germany
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Administrative Kontaktangaben: Mathias HOFMANN
Tel.: +35-12-002035
Fax: +35-12-002035
E-Mail-Adresse
INFINEON TECHNOLOGIES AG
Germany
ST. MARTIN STRASSE 53
81609 MUENCHEN
Germany
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Administrative Kontaktangaben: Klaus REINGRUBER
Tel.: +94-12-027911
Fax: +94-12-022316
E-Mail-Adresse
STMICROELECTRONICS SA
France
29 BOULEVARD ROMAIN ROLLAND
92120 MONTROUGE
France
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Administrative Kontaktangaben: Robert RONCHI
Tel.: +44-22-58879
Fax: +44-22-58954
E-Mail-Adresse
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