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FP5

APC300

Project ID: IST-1999-11826
Financé au titre de

Advanced Process Control for 300mm plasma production process

De 2000-01-01 à 2001-10-31 | APC300 Site web

Détails concernant le projet

Coût total:

EUR 2 751 100

Contribution de l'UE:

EUR 1 269 881

Coordonné à/au(x)/en:

Germany

Régime de financement:

ACM - Preparatory, accompanying and support measures

Objectif

Coordinateur

INFINEON TECHNOLOGIES SC300 GMBH & CO.KG
Germany
KOENIGSBRUECKER STRASSE 180
01099 DRESDEN
Germany
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Contact administratif: Volker TEGEDER
Tél.: +35-18-867353
Fax: +35-18-867352
E-mail

Participants

ADOLF-SLABY-INSTITUT FORSCHUNGSGESELLSCHAFT FUER PLASMATECHNOLOGIE UND MIKROSTRUKTURIERUNG MBH
Germany
RUDOWER CHAUSSEE 30
12489 BERLIN
Germany
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Contact administratif: Dirk SUCHLAND
Tél.: +30-2630-925040
Fax: +30-2630-925041
AMD SAXONY MANUFACTURING GMBH
Germany
WILSCHDORFER LANDSTRASSE 101
01109 DRESDEN
Germany
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Contact administratif: Mathias HOFMANN
Tél.: +35-12-002035
Fax: +35-12-002035
E-mail
INFINEON TECHNOLOGIES AG
Germany
ST. MARTIN STRASSE 53
81609 MUENCHEN
Germany
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Contact administratif: Klaus REINGRUBER
Tél.: +94-12-027911
Fax: +94-12-022316
E-mail
STMICROELECTRONICS SA
France
29 BOULEVARD ROMAIN ROLLAND
92120 MONTROUGE
France
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Contact administratif: Robert RONCHI
Tél.: +44-22-58879
Fax: +44-22-58954
E-mail