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FP5

APC300

Project ID: IST-1999-11826
Finanziato nell'ambito di

Advanced Process Control for 300mm plasma production process

Dal 2000-01-01 al 2001-10-31 | APC300 Sito web

Dettagli del progetto

Costo totale:

EUR 2 751 100

Contributo UE:

EUR 1 269 881

Coordinato in:

Germany

Meccanismo di finanziamento:

ACM - Preparatory, accompanying and support measures

Obiettivo

Coordinatore

INFINEON TECHNOLOGIES SC300 GMBH & CO.KG
Germany
KOENIGSBRUECKER STRASSE 180
01099 DRESDEN
Germany
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Contatto amministrativo: Volker TEGEDER
Tel.: +35-18-867353
Fax: +35-18-867352
E-mail

Partecipanti

ADOLF-SLABY-INSTITUT FORSCHUNGSGESELLSCHAFT FUER PLASMATECHNOLOGIE UND MIKROSTRUKTURIERUNG MBH
Germany
RUDOWER CHAUSSEE 30
12489 BERLIN
Germany
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Contatto amministrativo: Dirk SUCHLAND
Tel.: +30-2630-925040
Fax: +30-2630-925041
AMD SAXONY MANUFACTURING GMBH
Germany
WILSCHDORFER LANDSTRASSE 101
01109 DRESDEN
Germany
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Contatto amministrativo: Mathias HOFMANN
Tel.: +35-12-002035
Fax: +35-12-002035
E-mail
INFINEON TECHNOLOGIES AG
Germany
ST. MARTIN STRASSE 53
81609 MUENCHEN
Germany
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Contatto amministrativo: Klaus REINGRUBER
Tel.: +94-12-027911
Fax: +94-12-022316
E-mail
STMICROELECTRONICS SA
France
29 BOULEVARD ROMAIN ROLLAND
92120 MONTROUGE
France
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Contatto amministrativo: Robert RONCHI
Tel.: +44-22-58879
Fax: +44-22-58954
E-mail