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FP5

A table-top xuv-laser for high-resolution optical lithography

Project ID: HPMF-CT-2000-00455
Financé au titre de

A table-top xuv-laser for high-resolution optical lithography

De 2001-01-01 à 2002-12-31

Détails concernant le projet

Coût total:

EUR 140 900

Contribution de l'UE:

EUR 140 900

Coordonné à/au(x)/en:

Netherlands

Sujet(s):

Régime de financement:

RGI - Research grants (individual fellowships)

Coordinateur

VRIJE UNIVERSITEIT AMSTERDAM - VERENIGING VOOR CHRISTELIJK WETENSCHAPPELIJK ONDERWIJS
Netherlands
1081,De Boelelaan 1081
1081 HV AMSTERDAM
Netherlands
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Contact administratif: Wim HOGERVORST