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FP5

Rigorous diffraction theory for modeling of future lithography

Project ID: HPMF-CT-2000-00499
Gefördert unter

Rigorous diffraction theory for modeling of future lithography

Von 2000-09-01 bis 2002-08-31

Projektdetails

Gesamtkosten:

EUR 140 200

EU-Beitrag:

EUR 140 200

Koordiniert in:

Germany

Thema(en):

Finanzierungsprogramm:

RGI - Research grants (individual fellowships)

Koordinator

FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FOERDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V.
Germany
Schottkystrasse 10
91058 ERLANGEN
Germany
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Administrative Kontaktangaben: Heiner RYSSEL
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