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FP5

Rigorous diffraction theory for modeling of future lithography

Project ID: HPMF-CT-2000-00499
Financiado con arreglo a

Rigorous diffraction theory for modeling of future lithography

Desde 2000-09-01 hasta 2002-08-31

Detalles del proyecto

Coste total:

EUR 140 200

Aportación de la UE:

EUR 140 200

Coordinado en:

Germany

Tema(s):

Régimen de financiación:

RGI - Research grants (individual fellowships)

Coordinador

FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FOERDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V.
Germany
Schottkystrasse 10
91058 ERLANGEN
Germany
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Contacto administrativo: Heiner RYSSEL
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