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FP5

Rigorous diffraction theory for modeling of future lithography

Project ID: HPMF-CT-2000-00499
Financé au titre de

Rigorous diffraction theory for modeling of future lithography

De 2000-09-01 à 2002-08-31

Détails concernant le projet

Coût total:

EUR 140 200

Contribution de l'UE:

EUR 140 200

Coordonné à/au(x)/en:

Germany

Sujet(s):

Régime de financement:

RGI - Research grants (individual fellowships)

Coordinateur

FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FOERDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V.
Germany
Schottkystrasse 10
91058 ERLANGEN
Germany
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Contact administratif: Heiner RYSSEL