Wspólnotowy Serwis Informacyjny Badan i Rozwoju - CORDIS

FP5

Rigorous diffraction theory for modeling of future lithography

Project ID: HPMF-CT-2000-00499
Źródło dofinansowania

Rigorous diffraction theory for modeling of future lithography

Od 2000-09-01 do 2002-08-31

Dane projektu

Całkowity koszt:

EUR 140 200

Wkład UE:

EUR 140 200

Kraj koordynujący:

Germany

Topic(s):

System finansowania:

RGI - Research grants (individual fellowships)

Koordynator

FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FOERDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V.
Germany
Schottkystrasse 10
91058 ERLANGEN
Germany
See on map
Kontakt administracyjny: Heiner RYSSEL
Śledź nas na: RSS Facebook Twitter YouTube Zarządzany przez Urząd Publikacji UE W górę