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FP5

DUSAN KORYTAR

Project ID: G5TR-CT-2000-00046
Gefördert unter

Spatially resolved subsurface characterization of semiconductor wafers by high resolution x-ray diffraction

Von 2001-02-28 bis 2002-02-27

Projektdetails

Gesamtkosten:

EUR 128 000

EU-Beitrag:

EUR 128 000

Koordiniert in:

Germany

Ziel

Koordinator

FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FOERDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V.
Germany
Krügerstraße 22
01326 WEISSIG - DRESDEN
Germany
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Administrative Kontaktangaben: Henning METZLAFF
E-Mail-Adresse
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