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FP5

DUSAN KORYTAR

Project ID: G5TR-CT-2000-00046
Financé au titre de

Spatially resolved subsurface characterization of semiconductor wafers by high resolution x-ray diffraction

De 2001-02-28 à 2002-02-27

Détails concernant le projet

Coût total:

EUR 128 000

Contribution de l'UE:

EUR 128 000

Coordonné à/au(x)/en:

Germany

Objectif

Coordinateur

FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FOERDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V.
Germany
Krügerstraße 22
01326 WEISSIG - DRESDEN
Germany
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Contact administratif: Henning METZLAFF
E-mail