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FP5

DREAMS

Project ID: IST-2000-28587
Gefördert unter

Defect Review Via Electron Beam Induced Auger Electron Microanalysis Of Semiconductors

Von 2001-09-01 bis 2003-02-28

Projektdetails

Gesamtkosten:

EUR 5 219 207

EU-Beitrag:

EUR 3 669 362

Koordiniert in:

France

Finanzierungsprogramm:

ACM - Preparatory, accompanying and support measures

Ziel

Koordinator

STMICROELECTRONICS SA
France
29 BOULEVARD ROMAIN ROLLAND
92120 MONTROUGE
France
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Administrative Kontaktangaben: Laurens KAWKMAN
Tel.: +33-17-6926118
Fax: +33-17-6926444
E-Mail-Adresse

Teilnehmer

FEI ELECTRON OPTICS B.V.
Netherlands
ACHTSEWEG NOORD 5
5651 GG EINDHOVEN
Netherlands
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Administrative Kontaktangaben: Trevor DINGLE
Tel.: +44-12-23468552
Fax: +44-12-23468599
E-Mail-Adresse
INTERUNIVERSITAIR MICRO-ELECTRONICA CENTRUM VZW
Belgium
KAPELDREEF 75
3001 LEUVEN
Belgium
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Administrative Kontaktangaben: Hugo BENDER
Tel.: +32-16-281304
Fax: +32-16-281706
E-Mail-Adresse
PHILIPS SEMICONDUCTORS B.V.
Netherlands
PROFESSOR HOLSTLAAN 4
5656AA EINDHOVEN
Netherlands
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Administrative Kontaktangaben: Bert OTTERLOO
Tel.: +31-24-3533403
Fax: +31-24-33533323
E-Mail-Adresse
SEMATECH, INC.
United States
2706 MONTOPOLIS DRIVE
78741-6499 AUSTIN - TEXAS
United States
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Administrative Kontaktangaben: Alain DIEBOLD
Tel.: +51-23-563146
Fax: +51-23-467640
E-Mail-Adresse
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