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FP5

PC-PCN-SE

Project ID: G5ST-CT-2002-50362
Gefördert unter

Process control for plasma coating and nitriding by spectroscopic ellipsometry

Von 2003-08-01 bis 2005-07-31

Projektdetails

Gesamtkosten:

EUR 970 800

EU-Beitrag:

EUR 484 000

Koordiniert in:

Germany

Koordinator

SENTECH INSTRUMENTS GMBH
Germany
Carl-Scheele-Strasse, 16
12489 BERLIN
Germany
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Administrative Kontaktangaben: Albrecht KRUEGER
Tel.: +49-30-63925520
Fax: +49-30-63925522
E-Mail-Adresse

Teilnehmer

LINGENHOELE TECHNOLOGIE GMBH
Austria
Runastrasse 110
6805 FELDKIRCH-GISINGEN
Austria
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Administrative Kontaktangaben: Erich LINGENHOELE
Tel.: +43-55-2275451
Fax: +43-55-227545135
E-Mail-Adresse
PROFACTOR PRODUKTIONSFORSCHUNGS GMBH
Austria
Im Stadtgut A2
4407 STEYR
Austria
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Administrative Kontaktangaben: Christoph KENDLBACHER
Tel.: +43-72-52884239
Fax: +43-72-52884244
E-Mail-Adresse
RUEBIG GMBH & CO KG
Austria
Durisolstrasse 12
4600 WELS
Austria
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Administrative Kontaktangaben: Roland KULLMER
Tel.: +43-72-422938348
Fax: +43-72-42293839
E-Mail-Adresse
UNIVERSITY MASARYK IN BRNO
Czech Republic
Kotlarska 2
611 37 BRNO
Czech Republic
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Administrative Kontaktangaben: Josef HUMLICEK
Tel.: +42-05-41129437
Fax: +42-05-41211214
E-Mail-Adresse
VIENNA UNIVERSITY OF TECHNOLOGY
Austria
8-10,Wiedner Hauptstrasse 8-10
1040 WIEN
Austria
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Administrative Kontaktangaben: Herbert STOERI
Tel.: +43-15-880113460
Fax: +43-15-880113499
E-Mail-Adresse
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