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FP6

OCSLI

Project ID: 001854
Gefördert unter

Overlay control technology for sub-wavelength lithography for 65nm node and beyond in the integrated circuit industry

Von 2003-11-01 bis 2005-12-31 | OCSLI Website

Projektdetails

Gesamtkosten:

EUR 2 940 560

EU-Beitrag:

EUR 1 520 000

Koordiniert in:

Israel

Finanzierungsprogramm:

STREP - Specific Targeted Research Project

Ziel

Koordinator

KLA-TENCOR CORPORATION (ISRAEL)
Israel
HATIKSHORET ST.
23100 MIGDAL HAEMEK
Israel
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Administrative Kontaktangaben: KASSEL,
Tel.: +972-4-6449637
Fax: +972-4-6449450
E-Mail-Adresse

Teilnehmer

AMD SAXONY LIMITED LIABILITY COMPANY & CO. KG
Germany
WILSCHDORFER LANDSTRASSE 101
01 109 DRESDEN
Germany
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INTERUNIVERSITAIR MICRO-ELECTRONICA CENTRUM VZW
Belgium
Kapeldreef 75
LEUVEN
Belgium
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