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FP6

OCSLI

Project ID: 001854
Financiado con arreglo a

Overlay control technology for sub-wavelength lithography for 65nm node and beyond in the integrated circuit industry

Desde 2003-11-01 hasta 2005-12-31 | OCSLI Sitio web

Detalles del proyecto

Coste total:

EUR 2 940 560

Aportación de la UE:

EUR 1 520 000

Coordinado en:

Israel

Régimen de financiación:

STREP - Specific Targeted Research Project

Objetivo

Coordinador

KLA-TENCOR CORPORATION (ISRAEL)
Israel
HATIKSHORET ST.
23100 MIGDAL HAEMEK
Israel
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Participantes

AMD SAXONY LIMITED LIABILITY COMPANY & CO. KG
Germany
WILSCHDORFER LANDSTRASSE 101
01 109 DRESDEN
Germany
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INTERUNIVERSITAIR MICRO-ELECTRONICA CENTRUM VZW
Belgium
Kapeldreef 75
LEUVEN
Belgium
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