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FP6

SOCOT

Project ID: 16403
Gefördert unter

Scatterometry Overlay Control Technology in the integrated circuit industry for the 32nm technology node and beyond

Von 2005-10-01 bis 2008-09-30

Projektdetails

Gesamtkosten:

EUR 3 504 259

EU-Beitrag:

EUR 1 813 683

Koordiniert in:

Israel

Thema(en):

Finanzierungsprogramm:

STREP - Specific Targeted Research Project

Ziel

Koordinator

KLA-TENCOR CORPORATION (ISRAEL)
Israel
4 HATIKSHORET ST.
23100 MIGDAL HAEMEK
Israel
Administrative Kontaktangaben: Daniel KANDEL
Tel.: +97-24-6449640
Fax: +97-24-6449450
E-Mail-Adresse

Teilnehmer

INTERUNIVERSITAIR MICRO-ELECTRONICA CENTRUM VZW
Belgium
KAPELDREEF 75
LEUVEN
Belgium
Administrative Kontaktangaben: Philippe LERAY
QWED SP. Z O.O.
Poland
UL.ZWYCIEZCOW 34 / 2
03-938 WARSAW
Poland
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Administrative Kontaktangaben: Malgorzata CELUCH
STMICROELECTRONICS S.R.L.
Italy
VIA OLIVETTI 2
20041 AGRATE BRIANZA
Italy
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Administrative Kontaktangaben: Mauro VASCONI
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